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SYO-TEC 3D光學輪廓仪






結合3種測量方式于一體

共聚焦技術可以用來測量各類様品表面形貌。它比光學顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達0.1μm。用150倍、0.95數值孔徑的鏡頭時,在光滑表面測量斜率達70°(粗糙表面達86°)。

相位差干涉是一種亞納米級精度的用于測量各種光滑表面高度形貌的技術。使用2.5倍的鏡頭能實現超高緃向分辨率的大視場測量。

白光干涉是一種納米級測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術。優勢在於任何放大倍率都可以保証納米級的緃向分辨率。

多焦面疊加技術是用來測量非常粗糙的表面形貌。SYO結合在共聚焦和干涉技術的應用經驗,特別設計了此功能來補足低倍共聚焦測量的需求。

  共聚系統鏡頭配置 白光干涉系統鏡頭配置
MAG 5X 10X 20X 50X 100X 150X 5X 10X 20X 50X 100X 150X
NA 0.15 0.3 0.45 0.8 0.9 0.95 0.075 0.13 0.3 0.4 0.55 0.7
WD(mm) 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 0.2 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV(μm) 3508x2640 1754x1320 877x660 351x264 175x132 117x88 7016×5280 3508×12640 1754×1320 877×660 351×264 175×132
Spatial sampling(μm) 2.58 1.29 0.65 0.26 0.13 0.09 5.16 2.58 1.29 0.65 0.26 0.13
Optical resolution(μm) 0.93 0.46 0.31 0.17 0.15 0.14 1.87 1.07 0.46 0.35 0.25 0.2
Maximum slope(°) 8 14 21 42 51 71 315 860 14 21 25 42
Vertical resolution(nm) 75 25 8 3 2 1 PSI/ePSI 0.1nm(0.01nm with PZT) VSI 1nm
Measurement(s) >3s